来源:华体会官方网页登录入口 发布时间:2025-04-26 14:27:49
证券之星音讯,依据天眼查APP多个方面数据显现易天股份(300812)新取得一项发明专利授权,专利名为“一种依据视觉定位的晶圆对位办法及操控办理体系”,专利申请号为CN3.3,授权日为2025年3月25日。
专利摘要:本发明供给一种依据视觉定位的晶圆对位办法及操控办理体系,经过转移模组将晶圆从卡塞中取出,并转移至校对渠道;经过榜首对位件对晶圆进行初对位;经过第二对位件对晶圆进行二次对位;向多个伺服电机发送操控指令;操控伺服电机一起驱动多个对位模组,以将晶圆位移至基准方位;经过转移模组将晶圆运送至贴附渠道;驱动贴附头对晶圆贴附UV膜;经过切刀对晶圆进行仿型切膜;操控转移模组将晶圆运送至卡塞内。本发明经过榜首对位件和第二对位件对晶圆进行初对位和二次对位,可以在必定程度上反抗高精度对位,且可以便于后续贴膜和切膜的进行,且可以一起驱动多个伺服电机将晶圆位移至基准方位,可以大幅度地进步晶圆的出产功率。
今年以来易天股份新取得专利授权12个,较去年同期增加了100%。结合公司2024年中报财务数据,2024上半年公司在研制方面投入了2746.46万元,同比减17.85%。
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